產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 通過(guò)用傳感器測量基板的應變，可以實(shí)時(shí)測量鍍層的內應力。 可以通過(guò)一次測量來(lái)測量每個(gè)電鍍時(shí)間的應力（膜厚）。另外，還可以測量已鍍過(guò)一次的膜再鍍時(shí)的應力?？梢詼y量傳統應力計無(wú)法檢測到的微小應力。精密電鍍電源YPP系列的插槽中插入了專(zhuān)用的應力計板。
特征
● 符合JIS H8626標準。
● 即使是微弱的應力也可以測量。適用于測量薄膜、晶圓等弱產(chǎn)品。（從0.5μm以上的膜厚可以進(jìn)行準確的測量）
● 也可以測量
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